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氮化硅傳統工藝

發布日期:2019-12-28 14:20:33 作者:admin 點擊:307

  國際上研發的SI3N4粉末制備方法很多,有代表性的工作室美國Dow Chem Co.開發的SiO2的碳熱還原氮化法,和國際上普遍采用的硅粉直接氮化法。國際上大的生產廠家有Starck(德)、AME(英)、Kemanord(瑞典)和日本電工等廠商。兩種工藝都需要很長德氮化時間,一般為每周期72小時。所制備的氮化硅粉末價格也較高。美國報導的硅粉氮化法制取SI3N4的價格為35美元/公斤。而國際市場的氮化硅粉體的實際平均價格為45美元/公斤。但由于粉體性能原因,國際市場普遍接受的粉末仍是日本Ube公司的產品(工藝上采用氨解法,產品價格是120美元/公斤)。近年來,國內許多單位開發的制備納米氮化硅粉末的等離子體法由于產品價格和產量規模的原因,尚不具備形成較大產業的可能性。

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